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미국 상무부 산업안보국(BIS)은 2일 미국 연방 관보 게재를 앞두고 ‘검증된 최종 사용자’(VEU) 명단에서 삼성반도체유한공사, SK하이닉스반도체유한공사와 SK하이닉스가 인수한 인텔반도체유한공사 등 세 곳을 제외한다고 지난 29일 밝혔다. VEU는 미국 정부가 신뢰하는 기업에 한해 별도의 허가 절차나 기간 제한 없이 미국산 장비를 반출할 수 있는 제도다. 삼성과 SK가 VEU 지위를 잃으면 내년 1월부 대학생대출이자 터 미국산 장비를 들여올 때마다 별도 허가를 받아야 한다. 미국 상무부는 ‘현상 유지’를 위한 장비 반출은 허용하지만, 중국 공장의 생산 역량 확대와 기술 업그레이드를 위한 반출은 허가하지 않겠다고 명시했다.
중국은 삼성 낸드플래시 물량의 35%, SK하이닉스 D램 생산량의 40%를 담당하는 핵심 생산기지다. 반도체 주요 공정 장비를 어플 카드발급 라이드머티어리얼즈(AMAT), 램리서치, KLA 등 미국 기업이 사실상 독점하고 있는 만큼 다른 나라 장비로 대체하는 것은 불가능하다는 분석이 나온다.
한편 미국 법원은 도널드 트럼프 미국 대통령의 상호관세 부과 행정명령이 위법하다는 판결을 항소심에서도 유지했다. 워싱턴DC 연방순회항소법원은 29일 미국 정부가 상호 관세를 부과하는 근거로 일반회생개시결정 국제비상경제권한법(IEEPA)을 활용한 것은 위법하다는 국제무역법원(CIT)의 지난 5월 1심 판결을 7 대 4로 확정했다. 재판부는 “과세 권한은 헌법에 따라 의회에 전적으로 귀속된다”며 “의회 승인 없이 대통령은 세금을 부과할 수 없다”고 적시했다. 트럼프 정부는 대법원에 항소하겠다고 밝혔다. 자동차, 철강 등에 부과된 품목 관세는 무역확장법 232조 보금자리 자격 에 근거한 것으로 이번 판결과는 무관하다.
 50兆 들였는데…삼성·SK 中 반도체공장 '구식 칩' 생산기지 되나美, 내년 1월부터 中 반도체공장 기술·생산량 통제
‘최소 50조원.’
삼성전자와 SK하이닉스가 2010년 이후 중국 반도체 공장에 투입한 금액이다. 삼성은 2021년 완공한 중국 시안 낸드플래 새마을금고 비과세 시 공장 설립에만 30조원가량을 쏟아부었고, SK하이닉스는 D램 공장 신설과 인텔 중국법인(솔리다임·낸드플래시 생산) 인수 등에 20조원 이상을 투자했다.
공든 탑이 무너질 위기에 처했다. 미국 정부가 삼성과 SK하이닉스의 중국 공장에 미국 반도체 장비 반입을 제한하기로 해서다. 세계 반도체 장비 시장의 절반가량을 장악한 미국이 장비를 내주지 않으면 삼성·SK 중국 공장은 제대로 굴러갈 수 없다. 업계에선 “미국이 계획대로 밀어붙이면 삼성과 SK의 중국 공장은 저사양 제품만 만들다 문을 닫게 될 수 있다”고 우려했다.



 ◇내년 1월부터 규제 시행
중국은 삼성과 SK의 핵심 생산거점 중 하나다. 삼성 낸드플래시 생산량의 35%가 시안 공장에서 나오고, SK 우시 공장은 D램 전체 생산량의 40%를 담당한다. 물량만 많은 게 아니다. 중국은 애플, 마이크로소프트(MS), 소니, 화웨이, 샤오미 등이 거점을 둔 세계 최대 반도체 수요처다.
삼성과 SK는 이런 중국에서 ‘최첨단’보다 한 단계 아래인 ‘첨단’ 반도체를 양산하고 있다. 삼성은 주력 제품인 280~290단(9세대)보다 낮은 256단(8세대) 공정 전환을 중국에서 추진하고 있고, SK하이닉스는 192단 낸드를 중국 다롄에서 생산 중이다.
하지만 미국 첨단 장비를 쓰지 못하면 앞으로 중국에서 고성능 칩을 만드는 건 불가능해진다. 미국이 삼성과 SK를 ‘검증된 최종 사용자’(VEU) 명단에서 제외한 것이 중국의 ‘반도체 굴기’를 막기 위한 목적인 만큼 고성능 칩을 제작할 때 필요한 장비 반출을 허용할 리 없어서다. 미국 상무부는 “‘현상 유지’를 위한 장비 반출은 허용하지만, 중국 공장의 생산 역량 확대나 기술 업그레이드를 위한 반입은 허가하지 않겠다”고 명시했다.
 ◇美 장비 없으면 생산 차질
미국은 세계 5대 반도체 장비회사 중 세 곳을 보유했고, 반도체 장비 점유율이 50%에 이른다. KLA만 봐도 알 수 있다. 반도체 광학 장비의 80% 이상을 점유하고 있는 KLA의 장비가 없으면 고집적 미세 공정을 안정적으로 운영하기 어렵다. 미국 램리서치는 전도체 식각 공정 시장의 60%를, 어플라이드머티어리얼즈(AMAT)는 반도체 이온주입 장비 시장의 60% 이상을 차지하고 있다. 미국의 대중국 반도체 장비 수출 통제 대상에 ‘미국산 기술이 포함된 미국산 장비’도 들어간 만큼 일본이나 유럽 업체로 대체하는 것도 쉽지 않다는 분석이 나온다.
이렇게 되면 삼성은 당장 시안 공장 낸드 공정을 128단(7세대)에서 256단으로 전환하는 계획에 차질이 생긴다. 내년 한국에서 400단(10세대) 이상 낸드 생산에 들어가면 중국은 3세대 뒤처진 제품을 양산하는 시설이 된다. 낸드는 셀(저장공간)을 수직으로 쌓은 정도를 뜻하는 ‘적층 단수’가 기술력의 척도다.
 ◇“중국 반도체 키워주는 꼴”
단기적으로는 생산 차질도 배제할 수 없다. 미국 정부가 제때 장비 반출을 승인해주지 않을 수 있어서다. 미국 상무부는 이번 조치가 시행되면 연간 1000건의 수출 허가 신청이 추가로 발생할 것으로 예상했다.
일각에선 미국의 조치가 오히려 중국 반도체산업을 키워주는 꼴이 될 수 있다고 주장한다. 삼성과 SK의 빈자리를 중국 기업들이 대체할 것이라는 이유에서다. <칩 워> 저자 크리스 밀러는 로이터통신에 “양쯔메모리테크놀로지(YMTC) 등 현지 기업에 대한 추가 제재가 뒤따르지 않으면 한국 기업의 시장점유율이 줄어들 위험이 있다”고 내다봤다. 반대로 이번 조치가 국내 반도체 기업들의 탈(脫)중국을 가속화할 것이라는 전망도 나온다.
박의명 기자/워싱턴=이상은 특파원 uimyung@hankyung.com